河北工業(yè)凈化車間無塵車間設(shè)計建設(shè)降低能耗后期使用方案
2020-1-22 9:47:38??????點擊：
河北工業(yè)凈化車間無塵車間設(shè)計建設(shè)降低能耗后期使用方案
空氣潔凈度級別取決于所完成的工序。最敏感的接觸敞露晶園凈化車間的工序(光刻 、酸洗 濺射)生產(chǎn)特征尺寸為1微米的微電路時,上述工局應(yīng)在ISO4-ISO5級潔凈度的潔凈室中完成。若采用更小的特征尺寸時,便需要ISO3級,ISO2級等潔凈區(qū)。在需要ISO5級潔凈度(國外標(biāo)準(zhǔn)209D的100級)的工藝方面,廣泛采用這樣的方案,即高潔凈度級別的凈化車間潔凈室占用很大面積。因此便將設(shè)備移至潔凈室外面,僅有設(shè)備控制盤和進(jìn)出料機(jī)構(gòu)在凈化車間潔凈室內(nèi),而設(shè)備本身位于潔凈度級別較低的技術(shù)維修區(qū),當(dāng)特征尺寸在1微米左右時,可采用這種工藝。潔凈度級別更高的局部潔凈區(qū)獲得了廣泛的應(yīng)用,例如光刻間,化學(xué)酸洗間,清洗間等。直通式防護(hù),區(qū)域防護(hù)和所謂工藝廳都是適合此種工藝的典型潔凈室方案。因此高潔凈度級別凈化車間潔凈室占用著過多的面積。對潔凈度的要求還會講一步提高 若仍按傳統(tǒng)的潔凈室概念去對待,必將導(dǎo)致解決方案的非常不合理,其出路就是采用隔離工藝。對工業(yè)凈化車間潔凈室產(chǎn)生污染物可以避免第二次污染在河北做工業(yè)凈化車間、精密制造凈化車間、鏡片凈化車間裝修設(shè)計找卓泰凈化
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