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無塵和潔凈的生產環(huán)境是電子生產工藝的需要,凈化車間是確保電子產品的成品率和產品質量的可靠性、長壽命所必需的。隨著我國國民經濟的發(fā)展,各行各業(yè)對凈化無塵室生產環(huán)境的溫度、相對濕度和潔凈度的要求也越來越高。例如:大規(guī)模和規(guī)模集成電路的發(fā)展很快,在1980年時其集成度只有64kB,而到目前集成度已提高到1GB;64kB集成電路前工序生產所要求生產環(huán)境的潔凈度等級只有4級和5級,而1GB集成電路前工序生產對生產環(huán)境潔凈度等級的要求提高到1級和2級(0.1μm).不同的生產工藝、不同的生產工序對生產環(huán)境的要求也是不相同的,因此,確定潔凈室凈化車間的空氣潔凈度等級時應根據不同工藝、不同工序對環(huán)境的潔凈度要求而定。根據不同生產工藝、不同生產工序對環(huán)境潔凈度的不同要求,該高則高,該低則低,盡量縮小高潔凈度等級部分的面積,在凈化車間以局部高等級凈化和全室較低等級凈化的潔凈室系統代替全室高等級凈化的潔凈室系統。既能確保不同生產工藝對環(huán)境的要求,又能大幅度地降低初投資和運行費用。
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