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電子凈化車間一般都是生產(chǎn)加工為主無塵車間,電子無塵車間一般是大空間大高度,這樣得凈化大車間凈化潔凈級(jí)別控制有一定難度,所以在電子凈化車間設(shè)計(jì)里面可以根據(jù)使用部位級(jí)別要求設(shè)計(jì)微環(huán)境(局部百級(jí)凈化、局部千級(jí)凈化、局部萬級(jí)凈化等)微環(huán)境是在大潔凈空間中一塊與潔凈級(jí)別低的區(qū)域隔離開來的局部小凈化區(qū)域。它是包括形成這個(gè)環(huán)境的環(huán)繞一個(gè)工藝設(shè)備的嚴(yán)密的、超潔凈的圍擋結(jié)構(gòu),在電子凈化十級(jí)潔凈區(qū)域一般存放硅晶片的容器(SMIF容器), 一個(gè)機(jī)械手系統(tǒng)(SMIF 手臂系統(tǒng))。微環(huán)境產(chǎn)生的背景是:由于集成電路的集成度越來越高,對(duì)環(huán)境的要求越來越嚴(yán),費(fèi)用越來越大。河北電子凈化車間合理設(shè)計(jì)規(guī)劃可以節(jié)約使用能耗,又能達(dá)到局部使用無塵潔凈環(huán)境。河北凈化車間、潔凈室、卓泰凈化、河北無塵車間 河北無菌車間
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